產品詳細介紹SQC310石英晶體膜厚控制儀系列為您提供其它生產廠薄膜控制儀所沒有的性能與特色。同時可為您的應用選擇理想的模式：順序鍍膜（SQC310）或共鍍膜（SQC310C）。用于順序鍍膜，SQC310石英晶體膜厚控制儀裝備有2個傳感器輸入，2個源輸出，和8個數字輸入／輸出，提供為這些數量加倍的擴展插件板選件用于共鍍膜，SQC310石英晶體膜厚控制儀監測多至4個石英晶體傳感器，帶有4個PID控制輸出，16個數字輸入，和16個繼電器輸出，與SQC310的規范相同。
■高亮度，VGA活性點陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文。
■標準RS-232和USB（有以太網選件）。
■易設置和操作，有“快速設置”菜單，6個上下文-敏感的按鈕，和方便的參數設定旋鈕。
■Window程序用于開發，測試，和下載工藝過程，和將儀器數據記錄至您的PC上，用于過程分析與質量控制。
■精確的過程控制，尤其用于低淀積率，在10讀值／秒時的分辨率為±0.03Hz，在0至50°C溫度范圍內的頻率穩定性為±2ppm。
■貯存容量高至100個工藝過程，1，000個膜層，50個膜系。
■用單傳感器或多傳感器監測源材料，提供精確的源分布監測。 |
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