产品详细介绍小型离子溅射仪 郑州 科探KT-Z1650PVD
离子溅射仪功能：
一个更加广泛的选择由于全自动直流离子溅射仪在制样过程中被提供给了扫描电镜用户，从而为扫描电子显微镜所需的涂层要求的适用提供了支持。在结构设计及人机界面方面简单智能，对人性更加的注重。一个低成本的解决方案由于离子溅射仪对SEM样品常规适用黄金溅射被提供了，与此同时能够利用对金、铂、铱、银、铜等不同的靶材的更换来使得更细颗粒的涂层达到。与此同时，利用智能的人机界面对仪器的控制更加的方便、简单以及，与此同时，能够对镀层厚度进行估算，对真空实时显，溅射电流对溅射时间进行设定，对靶材的剩余情况进行计算。
离子溅射仪在扫描电镜（SEM）的样品喷金方便为专用的仪器，样品的导电性及导热性可以非常有效的提供，使恒沉积速率得到确保，使等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤减少，使扫描电镜观测结果得到了较为显著的提高。
产品特点：
? 彩色触摸屏：数据输入简单快速
? 通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。
? 可控镀膜速率，可得到更精细的晶粒结构
? 可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射
? 样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。
小型离子溅射仪 郑州 科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数；
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源
直流溅射电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1000W
输出电压电流
电压≤1000V 电流≤1A
真空
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤30Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台
可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速
8转/分钟
样品溅射源调节距离
40-105mm
真空测量
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口
|
|
| 会员级别：免费会员 |
| 加入时间：2024-06-12
|
|
|
在线客服
与企业联系时请告知该信息来自教育装备网！
