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产品型号:WS-650-23
产品代码:WS-650-23
产品价格:100000
产品编码:WS-650-23
计量单位:台
折 扣 率: 9
最后更新:2016-12-27
关 注 度:3734
生产企业:武汉迈可诺科技有限公司
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产品详细介绍Spin Processor匀胶旋涂仪 MYCRO公司提供美国原装进口匀胶旋涂仪,请您放心选购! MYCRO美国原装进口的旋涂仪,自1985年开始,我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统,目前客户已遍布全球。 匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者SpinProcessor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机旋涂仪 适用旋涂材料的尺寸范围 WS-650-23 标配为10mm 可选配到3mm或5mm 6英寸(150mm)直径圆片或5x5英寸(125mm)边长方片 WS-650-8 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm8英寸(200mm)直径圆片或7x7英寸(175mm)边长方片 WS-650-15 标配为10mm 可选配到3mm或5mm12英寸(300mm)直径圆片或9x9英寸(225mm)边长方片 WS-650-X 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm可根据用户特殊要求订制设备 可选择三种不同的安装构造: ***流行的Table Top型可自由放置在实验台面上 OND型,带远程控制器可用于手套箱等封闭环境 IND型,带远程控制器可用于WetStation湿法处理环境 高性能马达驱动 旋转控制 Mz型高精度旋涂用马达 转速范围:50~12000RPM (注 50RPM是***小稳定转速) 加速度:13000RPM/S; 转速误差:<±0.5RPM@8000RPM NIST标准认证; 匀胶均匀性:<1% @6 inch Wafer
安全设计 保护气流构造 旋涂过程中可以充氮气和氩气,对旋转马达进行气流保护 ; 防止飞片设计 嵌锁的安全盖板;盖板锁定后才可以启动旋涂作业; 电子绝缘负载双保护; 防腐构造设计; 新一代650型高性能数显控制器。非常方便设定处理速度和加速度程序段;可设置顺序循环控制;控制精度 数显控制器采用高位计数光学编码器输出,高精度密封循环伺服控制器,经美国国家标准研究院NIST认证,实时显示精度控制在设定值的0.006%以内(美国NIST激光测量器件的极限值)。系统无需重复校准! 操作者可随时随地自由实现人机交互; 设备运转进程中,可随意向前,向后或者往返跳跃操作步骤; 循环指令,并可以重复操作(多达255次); 在运转模式下也可以实时改变速度和加速度; 包含PC程序端接口; 可视化操作模型(化学试剂,传感器所见即所得的操作界面); 故障报警装置(可形象显明故障发生位置); 加速度的***小分辨率为 1 RPM/S; 宽广的速度设定范围(1~12000RPM); 需要更详细的等离子体表面处理仪资料咨询, 客服热线:4008800298-8843 18221354817 Email: taran_zhao@mycro.com.cn
主营产品:匀胶机,旋涂仪,甩胶台,匀胶台,涂层机,涂胶机,涂膜机,旋转涂敷仪, HPC,PPC, PAC,SCE系列等离子清洗机, Cargille光学试剂,光刻机/曝光机,压力机, 压片机, 热压机,WABASH热压机, CARVER热压机,LAURELL匀胶机、HOT PLATE热板 烤胶机 Laurell匀胶机 Harrick等离子清洗机 NDK热板烤胶机 PlasmaEtch等离子处理系统 Carver手动压片机 Uvitron紫外固化箱 Novascan紫外臭氧清洗机 Wenesco/EMS/Unitemp加热板 Laurell EDC系统,湿站系统 NXQ光刻机 Anatech等离子系统 Wabash/Carver自动压片机 公司名称:迈可诺技术有限公司 联系人:赵先生 4008800298-8843 18221354817 Email: taran_zhao@mycro.com.cn |
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会员级别:免费会员 |
加入时间:2016-12-27
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