 |
計量單位：套
最后更新：2010-09-20
關 注 度：8734
生產企業：上海卓倫微納米設備有限公司
|
|
|
 與企業聯系時請告知該信息來自教育裝備網！ |
|
|
產品詳細介紹1.掃描系統：
1.1 掃描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲線測量
1.2 最大掃描范圍：6μm*6μm，單一多量程自適應掃描器不更換技術，單個掃描器可達HOPG原子分辨 精度（科研用STM可選配50/100微米大量程掃描器）
1.3 分辨率：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定標，單一多量程自適應掃描器不更換技術
1.4 樣品臺尺寸：直徑≤Φ40mm，厚度≤15mm，重量≤15g
1.5 探針識別：自動識別當前針尖類型，軟硬件自動切換到相應的工作模式，無需人工干預。
1.6 探針保護：獨特設計的針尖保護技術，包括自動進針保護和平滑移動保護，能有效降低樣品對針尖的損傷，使儀器長時間保持高分辨圖像。
1.7 探針趨近：高精度高速伺服電機，控制針尖自動逼近樣品，行程<30mm，步長<23nm
1.8 樣品移動：手動精密機械二維移動平臺（移動范圍5mm×5mm，精度3μm）。
1.9 納米加工：矢量刻蝕功能 ，圖形刻蝕功能
2.控制系統：
2.1 控制/采集精度：采用32位ARM技術，雙16位掃描/采樣差分同步獨立高壓放大專利技術，16通道雙16 位A/D（精度相當于23位）；12通道16位D/A；4通道雙16位D/A（精度相當于23位）
2.2 反饋方式：8通道 數字化反饋+數控模擬反饋
2.3 高壓單元：±300V 紋波噪聲1.5mV；4通道雙16位D/A（精度相當于23位）提供掃描器XYZ三個方向的控制電壓；可擴展到8通道
2.4 計算機接口：EPP模式并行口 / USB2.0接口 可選
2.5 掃描頻率：0.1～300Hz
2.6 掃描角度：-180?~180?連續可調
2.7 圖像采樣點：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048 可調
2.8 電流檢測靈敏度≤10pA
2.9 預置隧道電流：1pA～50nA
2.10 偏置電壓：-10～+10V
3.軟件系統：
3.1 操作系統：Windows 98/2000/XP
3.2 在線控制軟件：四窗口圖像界面，可觀察4個不同數據通道同步成像;系統智能記憶功能 : 一個參數改變，相關參數會根據系統經驗自動調節到最佳范圍；壓電陶瓷非線 性校正，曲面擬合校正，樣品傾斜校正等。
3.3 圖像處理軟件：3D顯示，濾波處理，圖像修飾，邊緣增強、形態學處理、圖像格式轉換，圖像幾何變換、調色板設置等。
3.4 數據分析軟件：粗糙度分析，顆粒度分析，剖面分析，膜厚分析、臺階分析、各種曲線統計/分析等。
3.5 軟件開發模板：便于用戶進行二次開發，完成特殊的數據處理功能。
3.6 軟件服務包：軟件以插件方式終身享受免費升級服務。
4.工作條件：
4.1 環境溫度：0-35攝氏度
4.2 相對濕度：0-65%
4.3 工作電壓：220V（±10%），50Hz
|
|
| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2010-09-20
|
|
|
在線客服
