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橢圓偏振法簡稱橢偏法，是一種先進的測量薄膜納米級厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數學處理的困難，直到本世紀40年代計算機出現以后才發展起來。橢偏法的測量經過幾十年來的不斷改進，已從手動進入到全自動、變入射角、變波長和實時監測，極大地促進了納米技術的發展。橢偏法的測量精度很高（比一般的干涉法高一至二個數量級），測量靈敏度也很高（可探測生長中的薄膜小于0.1nm的厚度變化）。利用橢偏法可以測量薄膜的厚度和折射率，也可以測定材料的吸收系數或金屬的復折射率等光學參數。因此，橢偏法在半導體材料、光學、化學、生物學和醫學等領域有著廣泛的應用。
系統連接結構示意圖
1.主機接口 2.電腦接口 3.電源插座 4.保險絲 5.編碼器 6.光電接收器 7.檢偏器 8.樣品平臺 9.電機 10.1/4λ波片 11.BNC接口 12.起偏器 13.激光器 14.電腦主機
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