产品详细介绍(1)、X轴有效行程：750mm ，Y 轴有效行程：750mm ，Z轴有效行程：150mm
(2)、X轴重复定位精度：≤+/-2um；Y轴重复定位精度：≤+/-2um；Z轴定重复定位精度：≤+/-2um
(3)、X/Y/Z轴最大速度：1m/s，加速度：1G；
(4)、负载：10KG
(5)、使用环境：真空度 10-7Torr
(6)、平台基座采用金属合金，精度高，外形美观。
(7)、X轴（底座）、Y轴（中轴）和Z轴均采用真空直线电机驱动，运动特性好，技术成熟，系统稳定。电机可以10 - 7托真空情况下正常使用。 |
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| 加入时间：2019-07-23
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