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小型蒸镀仪

产品型号：KT-Z1650CVD
产品代码：
产品价格：
折扣率： 0
最后更新：2024-07-08
关注度：862
生产企业：郑州市金水区智研实验室设备经营部（个体工商户）

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产品详细介绍大功率桌面溅射仪，采用小电流高电压，大功率1000w，配有水冷机接口，可长时间运行。该产品为台式磁控溅射镀膜机，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。
主要特点：轻便、溅射面积大靶材可按用户要求加工制作
　　小型蒸镀仪郑州科探仪器技术资料
　　控制方式
　　　　7寸人机界面手动自动模式切换控制
　　
　　加热方式
　　　　数字式功率调整器
　　
　　镀膜功能
　　　　0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
　　
　　功率
　　　　≤1200W
　　
　　输出电压电流
　　　　电压≤12V 电流≤120A
　　
　　真空度
　　　　机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤10^-3Pa
　　
　　挡板类型
　　　　电控
　　
　　真空腔室
　　　　石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
　　
　　样品台
　　　　可旋转φ62 （可安装φ50基底）
　　
　　样品台转速
　　　　8转/分钟
　　
　　样品蒸发源调节距离
　　　　70-140mm
　　
　　蒸发温度调节
　　　　≤1800℃
　　
　　支持蒸发坩埚类型
　　　　钨丝蓝带坩埚钨丝蓝钨舟碳绳
　　
　　预留真空接口
　　　　KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
　　
　　可选配扩展
　　　　机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）
　　数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
　　分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
　　

郑州市金水区智研实验室设备经营部（个体工商户）

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