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布鲁克光学轮廓仪NPFLEX可旋转探头
产品型号:NPFLEX
产品代码:
产品价格:
折 扣 率: 0
最后更新:2013-05-27
关 注 度:3724
生产企业:北京华跃英泰科技有限公司
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产品详细介绍 

一、      仪器特点:



1. 非接触式光学测量方式,对样品表面无损伤。



2. 测试时间短, 垂直方向上可达亚纳米级分辨率。



3. 快速、准确测量多个样品 ,实现高速材料表面表征。



4. 广泛的应用领域,样品的反射率从0.1%100%均可测量。



5. 操作非常简单。



6. 高分辩、高速测量、高重复性、高可靠性的完美结合



7. 功能强大、行业领先的专业分析软件:



a)   台阶高度



b)   表面粗糙度



c)   多区域测量



d)   弯曲测量



e)   角度测量



f)   厚膜分析软件包-适用透明、半透明厚膜厚度及膜表面粗糙度分析



g)   光学软件包-应用于光学级表面表征



h)   数据存储制造业软件包-适用于硬盘部件的测量检测






8. 可测量各种复杂形状样品。






二、      性能参数指标介绍:



1.工作条件:



电源:220V1500W



环境温度:1035



环境湿度: 10%85%






2. 仪器尺寸:172cm H x 77cm D x 81cm W






3. 最大样品尺寸:H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm






4. 最大样品重量:50kg






5. 垂直分辨率:<0.15nm;(可测量出亚纳米级的表面结构)。






6. RMS重复性:0.03nm;(在测量超光滑平面的时候,多次测量的重复性非常好)。






7. 台阶高度测量的精度:0.5%;(对高度测量的精确度可控制在0.5%以内)。






8. 台阶高度测量的重复性:<0.12% 1σ;(对高度测量的重复性可控制在0.12%以内)。






9. 光学分辨率:0.49um;(在使用50倍物镜的情况下,可分辨的最小尺寸为0.49um)。






10.            最大扫描速度:28.1um/s;(纵向扫描的速度可达28.1um/s)。






11.            垂直方向最大扫描范围:10mm,全量程闭环控制,无需缝合。(纵向最大的扫描长度为10mm,并且此测量为闭环控制测量,保证了测量的准确性)。

北京华跃英泰科技有限公司
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会员级别:免费会员
加入时间:2011-09-29
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